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簡要描述:易度智能MC100系列,是一款應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器,其可用多種氣體。層流壓差原理使得產(chǎn)品具有較高的可靠性和穩(wěn)定性。內(nèi)置高精度的溫度和壓力傳感器,確保產(chǎn)品具有極低的溫漂和壓漂,長期穩(wěn)定性較好,產(chǎn)品連續(xù)在線工作控制準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性好。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 易度智能 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品,化工,制藥,電氣 |
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精度 | ±1.0%S.P. | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. |
工作流量范圍 | 1%~100%F.S. | 介質(zhì)溫度 | -20℃~60℃ |
環(huán)境溫度 | -20℃~50℃ | 使用濕度 | 0%~98%(無冷凝) |
工作壓力 | 0-1MPa | 供電電壓 | 24V±20% |
量程范圍 | 0.5sccm~500slpm |
易度智能MC100系列,是一款應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器,其可用多種氣體,具有高精度、高重復(fù)性、快速響應(yīng)、高穩(wěn)定性等優(yōu)勢。
特征:
l 原理:層流壓差式原理
l 便捷操作:提供上位機軟件設(shè)定流量。
l 核心優(yōu)勢:單機可用多種氣體,較快的響應(yīng)時間,并且可以設(shè)定后自主運行的性能
l 寬溫度、寬壓力適用范圍:-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)
l 實時顯示4種過程變量
l 內(nèi)置60多種氣體,簡單切換氣體,無需查找、輸入系數(shù),可自主編輯混合氣體
l 無需預(yù)熱時間,開機即可使用,減少貴重氣源浪費。
產(chǎn)品規(guī)格:
l 產(chǎn)品型號:MC100
l 量程范圍:0.5sccm~500slpm
l 閥門種類:N/C(常閉型)
性能參數(shù):
l 精度:±1.0%S.P.(設(shè)定值)(20%~100%量程范圍) ±0.2%F.S.(滿量程)(1%~10%量程范圍)
l 重復(fù)精度:±0.2%F.S.
l 壓力漂移:Zero:≤±0.2%F.S./100kPaA; Span:≤±0.2%F.S./100kPaA(基準(zhǔn)100kPaA)
l 溫度漂移:Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.02%F.S./℃(基準(zhǔn)溫度25℃)
l 零點漂移:±0.2%F.S./年
l 工作范圍:1%~100%F.S.
l 響應(yīng)時間:≤700ms.
l 啟動預(yù)熱時間:1s
使用條件:
l 介質(zhì)溫度:-20℃~60℃
l 環(huán)境溫度:-20℃~50℃
l 使用濕度:0%~98%(無冷凝)
l 工作壓力:0~1Mpa
l 耐壓:1.5Mpa
l 工作壓差范圍:100kPa~600kPa
l 供電電壓:24V±20%
l 消耗電流:<500mA (<12V)
l 安裝方式:任意角度
l 接氣部材質(zhì):SUS316L
l 進出口:管螺紋(內(nèi)螺紋)
l 接氣部密封材質(zhì):橡膠圈密封:氟橡膠
通訊方式:
l 數(shù)字信號:RS485,Profibus
l 模擬信號:4-20mA,0-5V
應(yīng)用場景
l 金剛石生產(chǎn)過程中的氣體流量控制
l CVD設(shè)備中的氣體流量控制
l 化學(xué)氣相沉積中的氣體流量控制
MC100應(yīng)用金剛石CVD氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)置多種氣體,方便用戶使用。快速響應(yīng)可迅速糾偏,抗氣源壓力波動,層流壓差原理使得產(chǎn)品具有較高的可靠性和穩(wěn)定性。內(nèi)置高精度的溫度和壓力傳感器,確保產(chǎn)品具有極低的溫漂和壓漂,長期穩(wěn)定性較好,產(chǎn)品連續(xù)在線工作控制準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性好。
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