極微小流量控制器是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。它由流量傳感器、分流器通道、流量調節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的氣體質量流量(無需溫度壓力補償)。
不但具有氣體質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。
工作原理：
極微小流量控制器將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與氣體質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。
主要功能特點：
1、采用采集傳感器信號，實現(xiàn)高精度和高穩(wěn)定性；
2、內置完善的抗擾器件配合多級保護電路，保證了現(xiàn)場的高可靠性；
3、具有完善的數(shù)據(jù)備份與恢復功能，現(xiàn)場免維護；
4、功能完善的現(xiàn)場調試，可使用中文手持器全面支持其現(xiàn)場調試；
5、擁有高亮度紅色背光的進度條LCD顯示器，顯示效果美觀；
6、穩(wěn)定性、精度和可靠性，性能優(yōu)異。
